GSF高精密電子束蒸發(fā)光學(xué)真空鍍膜機(jī)的工作原理是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表面汽化逸出后入射到基片表面凝結(jié)成膜。電子束蒸發(fā)比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高、束流密度大、蒸發(fā)速度快,制成的薄膜純度高。

光學(xué)鍍膜設(shè)備可鍍制層數(shù)較多的短波通、長(zhǎng)波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質(zhì)膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜系，能夠?qū)崿F(xiàn)0-90層膜的膜系鍍膜，也能滿足如汽車(chē)反光玻璃、望遠(yuǎn)鏡、眼鏡片、光學(xué)鏡頭、冷光杯等產(chǎn)品的鍍膜要求。配置不同的蒸發(fā)源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜系，對(duì)金屬、氧化物、化合物及其他高熔點(diǎn)膜材皆可蒸鍍。

1)、高精密光學(xué)鍍膜機(jī)配備有石英晶體膜厚儀、光學(xué)膜厚自動(dòng)控制系統(tǒng),采用PLC與工業(yè)電腦配合自主研發(fā)的PY3100系統(tǒng)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)工作過(guò)程的全自動(dòng)控制,可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
2)、大抽速真空系統(tǒng)加配深冷裝置，優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)真空能力，為復(fù)雜的光學(xué)膜系制備提供了必要的真空條件保障。
3)、蒸發(fā)分布穩(wěn)定、性能可靠的E型電子槍，優(yōu)化設(shè)計(jì)的蒸發(fā)源與工件架之間的位置關(guān)系，為精密膜系的實(shí)現(xiàn)調(diào)工了膜料蒸發(fā)分布方面的保障。
4)、平穩(wěn)而高速旋轉(zhuǎn)的工件架轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，使工件架內(nèi)外圈產(chǎn)品光譜曲線更趨于一致。
5)、適用于光學(xué)領(lǐng)域行業(yè),大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)高端要求的廠商使用。