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超大型板材管材真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:24841
超大型板材管材真空鍍膜機(jī)

工作原理

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí),將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來(lái),不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量,而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其優(yōu)點(diǎn)是薄膜附著力強(qiáng),繞射性好,膜材廣泛等。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區(qū)別。多弧離子鍍采用的是弧光放電,而并不是傳統(tǒng)離子鍍的輝光放電進(jìn)行沉積。簡(jiǎn)單的說(shuō),多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發(fā)源,通過(guò)靶與陽(yáng)極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發(fā),從而在空間中形成等離子體,對(duì)基體進(jìn)行沉積。

應(yīng)用范圍

可以鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍制合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機(jī)主要針對(duì)大面積五金工件鍍裝飾膜或者功能膜,適合于在不銹鋼板、不銹鋼管、不銹鋼門等工件表面鍍膜。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1)、此類設(shè)備真空室最大尺寸能實(shí)現(xiàn) φ5000X10000MM(長(zhǎng))
2)、是在大型板材、管材上鍍制各類裝飾膜層及功能膜膜層的適合設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)表

HLB系列大型板材管材真空鍍膜機(jī)     
型號(hào)HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機(jī)組雙KT800擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組*4套
鍍膜系統(tǒng)專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環(huán)弧靶+柱形弧靶(可選配)
輔助鍍膜系統(tǒng)低溫離子輔助源(除工具鍍外無(wú)需加溫系統(tǒng))
充氣系統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)
控制方式手動(dòng)或全自動(dòng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做
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