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SF系列電子束蒸發(fā)光學(xué)真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24968
SF系列電子束蒸發(fā)光學(xué)真空鍍膜機(jī)

工作原理

電子束蒸發(fā)是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表面汽化逸出后入射到基片表面凝結(jié)成膜。電子束蒸發(fā)比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高、束流密度大、蒸發(fā)速度快,制成的薄膜純度高。

應(yīng)用范圍

光學(xué)鍍膜設(shè)備可鍍制層數(shù)較多的短波通、長(zhǎng)波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質(zhì)膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜系,能夠?qū)崿F(xiàn)0-50層膜的膜系鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學(xué)鏡頭、冷光杯等產(chǎn)品的鍍膜要求。配置不同的蒸發(fā)源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜系,對(duì)金屬、氧化物、化合物及其他高熔點(diǎn)膜材皆可蒸鍍

產(chǎn)品特點(diǎn)

1)  光學(xué)鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏系統(tǒng)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)工作過(guò)程的自動(dòng)控制,工作效率和產(chǎn)品質(zhì)量重復(fù)性一致性優(yōu)良.
2)適用于光學(xué)領(lǐng)域行業(yè),大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)要求的廠商使用。

技術(shù)參數(shù)表

SF系列電子束蒸發(fā)光學(xué)真空鍍膜機(jī)    
型號(hào)SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT500擴(kuò)散泵機(jī)組KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組KT500擴(kuò)散泵機(jī)組KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組
鍍膜系統(tǒng)電子槍蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣系統(tǒng)壓強(qiáng)控制儀
控制方式手動(dòng)或半自動(dòng)
膜厚監(jiān)控系統(tǒng)石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做
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